Fachgruppe Nanostrukturierte Materialien    


Gerätetechnische Ausstattung
 
Lehre
 Vorlesungen & Semin.
 Angebote f. Studenten

Forschung
 Themen
 Projekte
 Publikationen

Labore/Techniken
Anschrift
 Ausstattung
Under Construction
Under Construction
Röntgenbeugung

Mitarbeiter
 Übersicht
 offene Stellen

Links
 Universität Halle
 Institut für Physik
 IZM
 IFOX
 Andere Links

Institut f. Physik
FG Nanostrukturierte Materialien
Martin-Luther-Universitat
Halle-Wittenberg
Von-Danckelmann-Platz 3,
D-06120 Halle, Germany

Tel.:  +49 345 55 25321
Fax.: +49 345 55 27034

Hochauflösende Röntgen-Diffraktometrie

Prinzip

Prinzip HRXRD

Ausstattung

  • Göbelspiegel
  • Symmetrischer und asymmetrischer Vierfach-Monochromator
  • Eulerwiege mit Probentisch für 5"Wafer
  • Patfinder-Detektor

Parameter

  • Winkelauflösung 0,0001°
  • Strahldivergenz 12"

Untersuchungsmöglichkeiten

  • Rockingkurve
  • Reciprocal Space Mapping

Anwendungsgebiete

  • Untersuchung von Epitaxiestrukturen
    • Schichtdicke
    • Relaxation
    • Fehlanpassung
    • Rauhigkeit
  • Untersuchung von Einkristallen
    • Schichtdicke

Beispiel: Rockingkurvenmessung

Substratpeak und Schichtpeak von SiGe auf Si

Rockingkurve von SiGe

Beispiel: Reciprocal Space Mapping

Reciprocal Space Map von SiGe-Inseln

Bild der Anlage

D8 im HRXRD-Mode
Impressum Copyright ©  Center of Materials Science, Halle, Germany. All rights reserved.