Fachgruppe Nanostrukturierte Materialien    

Institut f. Physik
FG Nanostrukturierte Materialien
Martin-Luther-Universitat
Halle-Wittenberg
Von-Danckelmann-Platz 3,
D-06120 Halle, Germany

Tel.:  +49 345 55 25321
Fax.: +49 345 55 27034

Röntgen-Reflektometrie

Prinzip

Ausstattung

• Göbelspiegel
• Eulerwiege mit Probentisch für 5"Wafer

Parameter

Untersuchungsmöglichkeiten

• Aufnahme von Reflexionskurven

Anwendungsgebiete

• Untersuchung von dönnen Schichten
  • Schichtdicke
  • Relaxation
  • Rauhigkeit

Beispiel: Reflexionskurve

Ge-Schicht auf Si-Substrat

Bild der Anlage