Fachgruppe Nanostrukturierte Materialien    

Institut f. Physik
FG Nanostrukturierte Materialien
Martin-Luther-Universitat
Halle-Wittenberg
Von-Danckelmann-Platz 3,
D-06120 Halle, Germany

Tel.:  +49 345 55 25321
Fax.: +49 345 55 27034

Hochauflösende Röntgen-Diffraktometrie

Prinzip

Ausstattung

• Göbelspiegel
• Symmetrischer und asymmetrischer Vierfach-Monochromator
• Eulerwiege mit Probentisch für 5"Wafer
• Patfinder-Detektor

Parameter

• Winkelauflösung 0,0001°
• Strahldivergenz 12"

Untersuchungsmöglichkeiten

• Rockingkurve
• Reciprocal Space Mapping

Anwendungsgebiete

• Untersuchung von Epitaxiestrukturen
  • Schichtdicke
  • Relaxation
  • Fehlanpassung
  • Rauhigkeit
• Untersuchung von Einkristallen
  • Schichtdicke

Beispiel: Rockingkurvenmessung

Substratpeak und Schichtpeak von SiGe auf Si

Beispiel: Reciprocal Space Mapping

Bild der Anlage